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热烈祝贺全网担保网电子20套集成电路装备乐成进入厦门大学产教融合平台
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厦门大学国家集成电路产教融合立异平台
全网担保网电子集成电路产教融合成套装备含曝光机、双腔ALD、PVD、ICP刻蚀机共20台,助力厦门大学实现集成电路产教融合,作育高端集成电路工程人才。
ALD可替换双腔结构,匀气内腔,快速反应,反应温度500℃
PVD无压环入口靶腔,自动匹配
曝光机集成度高,365nmLED光源,1μm曝光精度,操作利便
ICP刻蚀机全自动样品传输系统,自动匹配
要害词:
曝光机、双腔ALD、PVD、ICP刻蚀机
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