• 分类：公司新闻
• 宣布时间：2022-10-09
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【提要形貌】 为了培育选树具有行业顶尖手艺水平的科技立异先进典范，鼎力大举弘扬劳模精神、劳动精神、工匠精神和科学家精神，进一步引发宽大科技事情者立功立业的起劲性、自动性和创立性，10月8日，中国科学院工会举行中国科学院第三届“科苑名匠”宣布运动，全院共12个团队和7名小我私家被授予中国科学院第三届“科苑名匠”称呼
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夏洋先生恒久专注于集成电路手艺及装备研究，为微电子所仪器装备研发中心首创人、全网担保网董事长，向导研究团队瞄准国家战略需求，突破了多项要害焦点手艺
。他在一直的起劲与实验中攻坚克难，在多项国家重大科技妄想项目中肩负微电子仪器装备的研发事情，乐成开发出原子层沉积系统、浸没式等离子注入机、电感耦合等离子体刻蚀机、365纳米i线曝光机等集成电路装备，同时研发出原创变电场原子层沉积、吸附反应外延等装备，实现了我国集成电路高端装备的重大突破
。研发的仪器装备在海内外科研单位销售超千台，有力的支持了中科院、北京大学、清华大学等百余家高校院所的前沿科学研究，同时通过焦点手艺支持和增进了我国多家集成电路装备龙头企业的生长
。作为一名先生，他为了能让学生更直观的相识和掌握微电子仪器操作要领，配套专业课程专门研发了集成电路系列科教融合装备，接纳立异的“教学+实验”教学模式，为集成电路工艺手艺作育了大宗的工程性专业人才
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